专家简介：

刘永新，1985 年生，教授/博导，国家优秀青年基金获得者，大连理工大学“星海杰青”。
2017.12-今，          大连理工大学          教授
        2016.12-2017.12，大连理工大学          副教授
        2016.03-2017.04，美国休斯顿大学      访问学者
        2013.10-2016.12，大连理工大学          讲师
长期从事低气压射频等离子体的实验诊断与计算机模拟研究工作。在实验方面，自主搭建了多套射频等离子体源以及研制出多种诊断设备，并申请（授权）国内（外）发明专利9项；在计算机模拟方面，参与开发了中国第一款具有自主知识产权的多物理场耦合等离子体源仿真软件“MAPS”，填补了我国相关研究领域的空白。在此基础上，针对射频等离子体的一些前沿基础物理问题开展研究，在SCI 收录的国际学术期刊上发表论文近50 篇，其中第一/通讯作者论文20 篇（包括3篇Phys. Rev. Lett.、7篇Plasma Sources Sci. & Technol.、1篇Appl. Phys. Lett.），并取得了一些创新性的研究成果，如实验上首次观察到容性放电中的“电子反弹共振加热”现象、“辉光条纹”现象，以及“非线性驻波效应”等，以第一/通讯作者的身份，3项研究成果均发表在物理学顶级期刊Phys. Rev. Lett.上。这些研究成果不仅推动了国际上射频等离子体物理过程的研究，而且为实际半导体芯片制造工业中等离子体工艺过程的优化提供了科学参考。