专家简介：

科研/教育经历

1981年进入北京大学计算机系微电子专业学习，分别于1985年、1991年和2004年获学士、硕士及博士学位。

中国微米纳米技术学会常务理事，中国电子学会敏感技术分会副主任委员。

研究成果概况

近年来主要工作集中在MEMS设计加工技术、微型加速度计及三代半导体技术研究工作，曾主持开发了表面牺牲层技术等MEMS加工工艺；主持了新型化学传感器，电容式、谐振式和隧穿式等MEMS器件的开发。目前工作重点为高精度微型加速度计和压力传感器。近十年来发表文章100余篇，获专利4项，合作出版教材1部，获国家发明二等奖1项，北京市科技进步一等奖一项，北京市精品教材一部。