2021年5月27日，依据《中华人民共和国科学技术进步法》《中华人民共和国促进科技成果转化法》《科学技术评价办法》《科技评估管理暂行办法》，中关村中慧先进制造产业联盟在北京组织召开由福建臻璟新材料科技有限公司自主研发的高精密热等静压氮化硅陶瓷轴承粉体科技成果评价会。

评价机构严格按照《科技成果评价试点暂行办法》的有关规定和要求，秉承客观、公正、独立的原则，聘请中国科学院院士、北京科技大学教授葛昌纯任主任，清华大学教授潘伟、航天材料及工艺研究所研究员周延春、中国建筑材料科学研究总院教高陈玉峰、中国先进陶瓷产业联盟正高级工程师张伟儒、北京航空航天大学教授张跃、中国科学研究院过程工程研究所研究员朱庆山等6位同行专家，组成评价委员会，对该项科技成果进行了评价。评价委员会听取了项目完成单位的技术总结报告，对评价资料进行了审查，经严格质询和充分讨论形成了评价意见。

该项目属于陶瓷氮化硅领域，目前的主要产品有氮化物粉体、氮化物陶瓷基板、导热凝胶、导热垫片、导热界面材料等；其中氮化物系列产品是第三代半导体产业的导热新材料。

公司产品广泛应用于芯片、 IGBT 模块、SG 通讯、 LED封装、射频／微波通讯、新能源汽车及航空航天等领域。

主要创新点：

1、采用纳米二氧化硅为添加剂，在混合气体下氮化，制得的氮化硅陶瓷粉体有害杂质少、α相含量高、粒度分布窄。

2、采用碳化硅内壁多气氛旋转炉为主要反应装置，实现氮化过程中的能量控制和物料均匀反应，避免热量集中而导致的温度升高。

3、通过材料和装备控制，得到的氮化硅粉体性能达到下述指标，

① α相≥93%；

② N≥37%，O≤1.0%，游离硅≤0.1%，Al≤0.05%，Ca≤0.05%，Fe≤0.01%；

③ D50:0.6～0.8μm，D10≥0.2μm，D90≤1.5μm。

产品经北京中科光析化工技术研究所检测，符合GB/T37258-2018标准。经两家用户使用各项性能指标满足要求。

评价委员会一致同意通过科技成果评价。建议：将成果名称改为“高品质氮化硅粉体的制备技术”。

福建臻璟新材料科技有限公司于2018年07月25日成立。法定代表人林伟毅，公司经营范围包括：新材料技术研发、推广服务；电子元器件加工、销售等。